光学薄膜コーティング材料

取り扱い商品:スパッターリングターゲット材料

弊社は以下のようなスパッターリング材料(例)を取り扱っております。
これらの製品は、金属、合金、単結晶及びセラミックス等、スパッターリングターゲット材として殆どの種類を網羅しております。また、これらの材料は世界的に有名な研究所と協力して開発と生産を行っており、お客様の要求によって新規開発可能です。

製品例
 セラミックターゲット (例) Al2O3, BaTiO3, BaxSr(1-x)TiOy, BaZrO3, Bi2FeCrO6, CeO2,
NiFe2O4, MgO, PZT, PbZrO3, SrTiO3, SrZrO3, LaSrMnOx,
LaSrCoOx, LaSrNiOx, YBCO, TiO2, Al:ZnO, ZnO, ZrO
 金属ターゲット (例) Al, Ag, Au, Bi, C (石墨), Co, Cu, Cr, Fe, Ge, Hf, In, Mg, Mo,
Ni, Pb, Pd, Si, Sn, Ta, Ti, V, W, Zn, Zr
 合金ターゲット (例) Al-Cu, Al-Ti, Al-Mg, Ag-Cu, Co-Cr, Co-Ni, Co-Fe, Co-Fe-Cu,
Cu-Al, Fe-Mn, Fe-Ni, Ni-Cr,Ni-Cr-Fe, Ni-Fe, Ni-Al,
Ti-Al,Ti-Ni, Zn-Al, Ti-Al, Ti-Ni, Zn-Al
 単結晶ターゲット (例) Al2O3, MgO, Ge, SrTiO3, Si, SiO2, LaAlO3



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